芯片制程已经推进到了7nm以下,这其中最关键的核心设备就要数EUV光刻机了,目前全世界只有荷兰ASML(阿斯麦)可以制造。来自Digitimes的报道称,台积电打算在2021年底前购置55台EUV光刻机,以加快EUV相关工艺制程的发展。实际上,当前全球一半投入使用的EUV光刻机都在台积电手中,
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