超纯水系统

本文介绍了超纯水在半导体制造中的关键作用。超纯水是晶圆加工的核心要素，从清洗、光刻到蚀刻等工序都对水质有严苛要求。高频科技作为专业供应商，构建了覆盖制备、储运、回收全流程的技术体系，其超纯水系统可达PPT级别纯度。文章重点阐述了三大核心技术：1）超纯水制备采用多级工艺组合，确保电阻率≥18.24MΩ·cm；2）闭环配送系统实现24小时循环，通过精密控制保持水质稳定；3）废水处理采用分级工艺，回收率高达90%。这些技术解决了半导体产业用水痛点，为14nm等先进制程提供可靠保障，助力产业实现降本增效与可持续发展。...

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