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为争取EUV光刻机供货:三星李在镕亲赴ASML荷兰总部游说

2020-10-15 16:45 · 稿源: 快科技

据韩媒报道,三星电子副董事长李在镕在本周三(10月14日)亲自飞赴ASML(阿斯麦)荷兰总部会晤。

陪同李在镕的是三星芯片业务负责人Kim Ki-nam,ASML方面CEO Peter Wennink和CTO Martin Van den Brink均出面接待,规格颇高。

据称,双方探讨了的核心是EUV光刻机的供应和装配(5nm),同时也就面向AI等领域的下一代光刻机研发合作交换了意见,讨论中还各自发表了对当前新冠肺炎疫情的看法。

资料显示,三星和ASML在EUV极紫外光刻上的合作可追溯到2000年,三星在2012年的时候还投资入股ASML以加强合作,目前,三星持有ASML 1.5%股份。

另据了解,ASML正在开发NXE-5000,是其现有主力出货EUV光刻机NXE-3400B的完全换代型号。

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