据韩媒报道，三星电子副董事长李在镕在本周三（10月14日）亲自飞赴ASML（阿斯麦）荷兰总部会晤。

陪同李在镕的是三星芯片业务负责人Kim Ki-nam，ASML方面CEO Peter Wennink和CTO Martin Van den Brink均出面接待，规格颇高。

据称，双方探讨了的核心是EUV光刻机的供应和装配（5nm)，同时也就面向AI等领域的下一代光刻机研发合作交换了意见，讨论中还各自发表了对当前新冠肺炎疫情的看法。

资料显示，三星和ASML在EUV极紫外光刻上的合作可追溯到2000年，三星在2012年的时候还投资入股ASML以加强合作，目前，三星持有ASML 1.5%股份。

另据了解，ASML正在开发NXE-5000，是其现有主力出货EUV光刻机NXE-3400B的完全换代型号。