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国产5nm蚀刻机通过验证:台积电5nm工艺就用它

2018-12-18 12:14 · 稿源: 快科技

作为全球头号代工厂,台积电的新工艺正在一路狂奔,7nm EUV极紫外光刻工艺已经完成首次流片,5nm工艺也将在2019年4月开始试产。不过众所周知,半导体工艺是一项集大成的高精密科技,新工艺也并非台积电自己完全搞定,而是依赖整个产业链的设备和技术供应,比如大家比较熟悉的光刻机

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