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2025SEMICON CHINA :东方晶源新品DR-SEM r655备受瞩目

2025-03-27 10:52 · 稿源: 站长之家用户

东方晶源多年来深耕电子束检测领域,其电子束缺陷检测设备EBI与关键尺寸量测设备CD-SEM先后实现国产替代零的突破,并获市场认可。

2023 年初,东方晶源推出DR-SEM r600,搭配 3 通道电子成像技术与新型设备平台,在客户端完成量产验证,为后续开发奠定了基础。经过两年时间迭代研发,东方晶源比较新一代DR-SEM r655 产品将搭载全新的高性能电子枪和光学检测模组,以及升级版传片系统和算法系统,突破一系列技术难点,满足国内先进制程产线应用需求。

电子束检测成像: 5 通道探测器覆盖更广泛的检测需求

  • 全方位缺陷表征: 4 个侧向探测器支持全角度形貌扫描,显著提升缺陷立体成像效果,助力工程师准确判定缺陷类型与成因,尤其对浅刮伤等微小缺陷的复检成功率提升明显。

  • 材料衬度解析优化:顶端探测器增强背散射电子信号接收能力,准确捕捉材料衬度差异,满足先进制程对多种应用场景的需求。

  • 高深宽比工艺兼容:配合高加速电场设计,适配高深宽比结构检测,性能对标国际成熟机型。

光学检测升级:突破灵敏度极限

针对无图形晶圆缺陷复检需求,比较新一代的r655 通过两项核心改进实现突破:

  • 光路优化:调整缺陷接收光路,缩小与目标缺陷尺寸的检测差距。

  • 深紫外光源系统:基于自研光路和定制开发的国产深紫外激光源,光学检测灵敏度提升至20nm,未来可进一步优化性能。

效能跃升:产能对标国际水平

r655 通过平台级升级,全面优化晶圆吞吐效率:

  • 传输与运动控制:缩短晶圆传输时间,配合新一代电子光学系统加速缺陷抓取,处理速度接近国际一线设备。

  • 模块化扩展设计:新平台具备灵活的可拓展性,支持多个选配模组和升级需求,兼容先进制程的多样化检测需求,确保设备长期技术竞争力。

未来布局:智能化与国产化深度融合

东方晶源以“高性能优化(HPO)”为核心理念,前瞻性整合DR-SEM与GDS-Design系统,通过智能算法提升缺陷抓取率,推动检测流程自动化。此举旨在通过自主创新,突破关键技术瓶颈,走出自研设备的道路,为半导体产业链自主可控提供坚实支撑。

结语

从技术攻坚到产能突破,东方晶源DR-SEM系列产品持续以务实创新回应市场需求。r655 的推出,标志着国产电子束检测设备在精度、效率与智能化领域迈入新阶段,为我国半导体先进制程发展注入强劲动能。

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