首页 > 传媒 > 关键词  > 电子束检测最新资讯  > 正文

2025SEMICON CHINA :东方晶源新品DR-SEM r655备受瞩目

2025-03-27 10:52 · 稿源: 站长之家用户

东方晶源多年来深耕电子束检测领域,其电子束缺陷检测设备EBI与关键尺寸量测设备CD-SEM先后实现国产替代零的突破,并获市场认可。

2023 年初,东方晶源推出DR-SEM r600,搭配 3 通道电子成像技术与新型设备平台,在客户端完成量产验证,为后续开发奠定了基础。经过两年时间迭代研发,东方晶源比较新一代DR-SEM r655 产品将搭载全新的高性能电子枪和光学检测模组,以及升级版传片系统和算法系统,突破一系列技术难点,满足国内先进制程产线应用需求。

电子束检测成像: 5 通道探测器覆盖更广泛的检测需求

  • 全方位缺陷表征: 4 个侧向探测器支持全角度形貌扫描,显著提升缺陷立体成像效果,助力工程师准确判定缺陷类型与成因,尤其对浅刮伤等微小缺陷的复检成功率提升明显。

  • 材料衬度解析优化:顶端探测器增强背散射电子信号接收能力,准确捕捉材料衬度差异,满足先进制程对多种应用场景的需求。

  • 高深宽比工艺兼容:配合高加速电场设计,适配高深宽比结构检测,性能对标国际成熟机型。

光学检测升级:突破灵敏度极限

针对无图形晶圆缺陷复检需求,比较新一代的r655 通过两项核心改进实现突破:

  • 光路优化:调整缺陷接收光路,缩小与目标缺陷尺寸的检测差距。

  • 深紫外光源系统:基于自研光路和定制开发的国产深紫外激光源,光学检测灵敏度提升至20nm,未来可进一步优化性能。

效能跃升:产能对标国际水平

r655 通过平台级升级,全面优化晶圆吞吐效率:

  • 传输与运动控制:缩短晶圆传输时间,配合新一代电子光学系统加速缺陷抓取,处理速度接近国际一线设备。

  • 模块化扩展设计:新平台具备灵活的可拓展性,支持多个选配模组和升级需求,兼容先进制程的多样化检测需求,确保设备长期技术竞争力。

未来布局:智能化与国产化深度融合

东方晶源以“高性能优化(HPO)”为核心理念,前瞻性整合DR-SEM与GDS-Design系统,通过智能算法提升缺陷抓取率,推动检测流程自动化。此举旨在通过自主创新,突破关键技术瓶颈,走出自研设备的道路,为半导体产业链自主可控提供坚实支撑。

结语

从技术攻坚到产能突破,东方晶源DR-SEM系列产品持续以务实创新回应市场需求。r655 的推出,标志着国产电子束检测设备在精度、效率与智能化领域迈入新阶段,为我国半导体先进制程发展注入强劲动能。

推广

特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包括在内)均为站长传媒平台用户上传并发布,本平台仅提供信息存储服务,对本页面内容所引致的错误、不确或遗漏,概不负任何法律责任,相关信息仅供参考。站长之家将尽力确保所提供信息的准确性及可靠性,但不保证有关资料的准确性及可靠性,读者在使用前请进一步核实,并对任何自主决定的行为负责。任何单位或个人认为本页面内容可能涉嫌侵犯其知识产权或存在不实内容时,可及时向站长之家提出书面权利通知或不实情况说明,并提供身份证明、权属证明及详细侵权或不实情况证明(点击查看反馈联系地址)。本网站在收到上述法律文件后,将会依法依规核实信息,沟通删除相关内容或断开相关链接。

  • 相关推荐
  • 当可以“玩”的电子家具成为情绪充电站,情绪经济推动下的产品变革

    当前消费市场正从物质需求转向精神追求,情绪价值成为新关注点。以MORROR+ART为代表的歌词音箱品牌,通过视觉与听觉结合,放大音乐情绪氛围,让产品成为情感载体。其支持自定义壁纸、视频上传等功能,增强个性化互动,使音箱不仅是家居装饰,更是自我表达和社交分享的媒介。产品注重细节与美学,构建“M式生活美学”,满足年轻人对情绪消费的需求,推动消费从功能价值向情感共鸣延伸。

  • 海尔空调数字技术进行焊点检测直通率提升22%

    空调焊接质量直接影响用户体验。传统检测依赖人工经验与抽检,难以全面识别细微缺陷。海尔空调通过数字化技术,研发出基于机器视觉的焊接自调优技术,实现焊接全流程系统化检测升级,缺陷识别更灵敏、检测覆盖率更高、响应速度更快。该系统在焊前、焊中、焊后各环节实现智能检测,大幅提升直通率,降低不良率,年检测成本降低96%,有效保障产品质量,延长空调使用寿命。

  • 海尔空调自研AI+5G成品检测系统质量创新高

    海尔空调创新融合5G与AI技术,自主研发5G+AI视觉多维智能检测系统,解决传统人工检测效率低、漏检率高、标准不一等行业痛点。该系统检测效率高,8秒完成36项全面检测;误判率降至0.5%以下,具备自适应能力;实现全流程数据可追溯,有效保障产品质量。该技术不仅降低用户购买风险,还推动行业向智能化、高精度转型,为家电质量管控提供新路径。

  • 一加15率先迈入165超高帧时代:耗时3年打造

    9月26日,一加游戏大会宣布将引领行业进入165超超高帧时代。去年一加推出风驰游戏内核和电竞三芯两大独家技术,前者实现全主流游戏满帧运行,后者确保游戏零卡顿、零断触、零掉线。一加15将首发165超超高帧游戏生态,联合产业链攻克芯片、屏幕、散热等五大技术瓶颈,实现手游体验五年来的最大迭代。官方表示,一加与合作伙伴耗时三年打造全链路技术方案,推动手游行业迈向165超超高帧新高度,为玩家带来更流畅的游戏体验。

  • 中式梦核,Z世代的电子乡愁

    「你醒啦,现在是2008年的下午…」看到这个标题,你没忍住点进视频,却只看见一个空空荡荡、挂着条幅的房间,或是一条光线昏暗、只有风声沙沙的走廊。空灵磁性的老式广播音里,一句歪扭的字在屏幕上跳动着:「这里已经没人等你了...」 这类以老商场、蓝玻璃,雪花屏、空走廊等千禧风元素为特定呈现内容,画质模糊粗粝并配以迷幻感滤镜的视频,即是「梦核」。曾经�

  • 三星正式向更多Galaxy设备推送Samsung One UI 8更新

    三星电子正式推送One UI 8更新,为Galaxy用户带来增强的多模态AI功能,包括个性化建议、实时窗口、即时简报等智能体验。新系统优化了不同设备形态的交互,结合Knox安全架构保护隐私,并支持实时翻译、游戏辅助等实用工具。9月18日起中国用户可优先升级,年底前将扩展至更多机型。

  • 精臣M2 +拉丝银标签:破解小微企业设备贴标痛点

    文章分析了小微型企业设备标签管理中的痛点,如传统标签打印分辨率低、户外使用易损坏、操作繁琐效率低等。针对这些问题,精臣推出“M2智能标签机+拉丝银标签”组合方案,具备高清耐用、操作简便、多端协作、便携灵活等特点,支持批量打印和移动操作,有效降低企业运营成本,提升设备标识管理效率,助力小微企业实现降本增效和灵活生产。

  • 2025年国产主流分布式数据库产品

    随着数字化转型加速,国产分布式数据库在性能、安全性和自主可控方面取得显著进步,成为企业核心技术栈的重要组成部分。文章重点介绍了OceanBase、ArgoDB、TDSQL、PolarDB、GaussDB、GBase8a、GoldenDB和TiDB等主流产品,涵盖金融级高可用、HTAP混合负载、云原生架构等核心能力,广泛应用于金融、电信、政务等领域,展现出头部厂商激烈竞争的市场格局。

  • 理想i6电池信息曝光:5C超充+720km续航 李想直言技术顶流

    日前,理想汽车再次放出了理想i6的关键信息。据悉,这款新车将搭载全新5C磷酸铁锂电池,CLTC续航里程720km,5C超级充电最大峰值功率超500kW。 此外,新车的全新5C磷酸铁锂电池具备优异的放电性能,支持超低内阻、精确电量估算,20%电量四驱版加速差异0.5s;极低电量下仍可稳定维持120km/h巡航。 并且,即使在极低电量下也能做到爬坡、上地库。 另外,根据申报信息了解到�

  • Arm 全新 Lumex CSS 平台实现两位数性能提升,驱动消费电子设备“更智能、更高效、更个性化”

    Arm推出Lumex CSS平台,集成SME2技术CPU和Mali G1-Ultra GPU,实现端侧AI性能五倍提升。支持智能助手、语音翻译等实时应用,覆盖主流移动操作系统和AI框架。开发者可通过KleidiAI无缝调用SME2加速能力,无需修改代码。该平台专为旗舰设备设计,提供个性化、高隐私保护的本地AI体验,重新定义移动端交互与游戏性能。

今日大家都在搜的词: