电子束检测

东方晶源多年来深耕电子束检测领域，其电子束缺陷检测设备EBI与关键尺寸量测设备CD-SEM先后实现国产替代零的突破，并获市场认可。2023年初，东方晶源推出DR-SEMr600，搭配3通道电子成像技术与新型设备平台，在客户端完成量产验证，为后续开发奠定了基础。r655的推出，标志着国产电子束检测设备在精度、效率与智能化领域迈入新阶段，为我国半导体先进制程发展注入强劲动能。...

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