台积电积极推进 2nm 工艺，计划在未来两年内引进 60 多台 EUV 光刻机，投资额高达 894 亿元人民币。随着 ASML 产能扩大，EUV 光刻机的交付量预计将大幅增长，台积电将从中受益。
ASML 计划在 2025 年交付 90 台 EUV 光刻机、600 台 DUV 光刻机和 20 台 High-NA EUV 光刻机。这将为包括台积电在内的全球芯片制造商提供强有力的技术支持。
然而，EUV 光刻机的供应仍然紧张，交货周期为 16 至 20 个月。台积电已预订了 30 台 EUV 光刻机，计划在 2025 年再订购 35 台。但这些订单大部分要到 2025 年以后才能交付。
值得注意的是，台积电可能会根据市场需求调整资本支出计划。此外，业界预计台积电今年内将获得最新的 High-NA EUV 光刻机，进一步提升其高端芯片制造能力。
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