氧化硅

对于空间光学等超轻型光学系统来说，典型光学工艺就是难以生产出满足其严格要求的形状...研究配图 - 2：产生三叶形变的设计部分 / 25 个制造用单元显微图像 / 形变测量...实验表明，在用于他们制造的 X 射线镜时，该技术可极其出色的消除失真...为此，MIT 团队进一步开发了这项技术，最终发明了所谓的英里张量介观结构（简称 STM）—— 这是一种排列在薄基板背面、且叠加在应力图层上的准周期单元...Schattenburg 指出：“具有纳米级精度的硅晶片的自由成型，需要计量、力学和制造这三方面的通力协作”.........

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